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激光干涉比长仪

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  • 激光干涉比长仪是一种采用光电显微镜作为瞄准标尺,激光干涉仪作为测量标尺对线纹尺进行测量校准的仪器,其具有精度高、重复性好等特点。该比长仪能够检测玻璃线纹尺和金属线纹尺,且其能够直接溯源到激光波长。该仪器配有自动化数据采集系统,具有实时对气压、湿度补偿的功能,并且采用目前流行的USB总线作为数据传输总线。

    技术指标:
    测量范围:(0~1000)mm
    光电显微镜瞄准重复性:优于0.06μm
    线纹尺正、反测量的一致性:在测量范围内正、反方向测量值之差小于0.2μm
    测量不确定度:U99=(0.06+0.1L)μm,L单位为m

    激光干涉比长仪图片

    激光干涉比长仪是一种采用光电显微镜作为瞄准标尺,激光干涉仪作为测量标尺对线纹尺进行测量校准的仪器,其具有精度高、重复性好等特点。该比长仪能够检测玻璃线纹尺和金属线纹尺,且其能够直接溯源到激光波长。该仪器配有自动化数据采集系统,具有实时对气压、湿度补偿的功能,并且采用目前流行的USB总线作为数据传输总线。

    技术指标:
    测量范围:(0~1000)mm
    光电显微镜瞄准重复性:优于0.06μm
    线纹尺正、反测量的一致性:在测量范围内正、反方向测量值之差小于0.2μm
    测量不确定度:U99=(0.06+0.1L)μm,L单位为m

    激光干涉比长仪图片